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混料装置及用于靶材的制备系统 

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申请/专利权人:先导薄膜材料(安徽)有限公司

摘要:本发明公开一种混料装置,包括支架、连接臂、料仓及多个超声机构。连接臂绕第一轴线可转动地连接于所述支架;料仓连接于所述连接臂远离所述支架的一端,且能够绕第二轴线自转;多个超声机构间隔布设于所述料仓的外侧表面;其中,所述第一轴线和所述第二轴线呈角度设置。采用上述的混料装置,料仓绕第一轴线和第二轴线转动的过程中能够对料仓内的粉末进行混料,由于料仓能够进行任意角度的转动,可以提高料仓内无序程度,从而提高混料效果。同时,混料过程中超声机构能够对料仓内的粉末进行超声处理,从而减少粉末沾附在料仓的内壁,方便料仓的清理。本发明还公开一种用于靶材的制备系统。

主权项:1.一种混料装置,其特征在于,包括:支架;连接臂,绕第一轴线可转动地连接于所述支架;料仓,连接于所述连接臂远离所述支架的一端,且能够绕第二轴线自转;多个超声机构,间隔布设于所述料仓的外侧表面;其中,所述第一轴线和所述第二轴线呈角度设置。

全文数据:

权利要求:

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