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申请/专利权人：宣城矽立科新材料有限公司
摘要：本发明涉及硅烷精馏技术领域，具体地说，涉及两塔精馏系统。其包括反应精馏塔、硅烷精馏一塔以及硅烷精馏二塔，反应精馏塔的塔釜排出四氯化硅，塔顶排出含硅烷的混合气体；硅烷精馏一塔，其接收所述液相混合物，用于脱除液相混合物中的轻组分和重组分，得到含有微量重组分的粗硅烷；硅烷精馏二塔，其接收含有微量重组分的粗硅烷，用于脱除粗硅烷中的微量重组分。本发明中硅烷精馏一塔采用侧线采出硅烷，塔顶全回流，不凝气放空，塔釜采出含二氯二氢硅和一氯三氢硅的重组分，使得进入硅烷精馏二塔的硅烷纯度达到99.9％以上，经硅烷精馏二塔进一步脱除重组分后，塔顶更容易得到纯度为6N及以上的硅烷产品。
主权项：1.两塔精馏系统，其特征在于，至少包括：反应精馏塔1，其内部进入原料进行歧化反应；所述反应精馏塔1的塔釜排出四氯化硅，塔顶排出含硅烷的混合气体；含硅烷的混合气体经冷凝后放空不凝气，得到不含四氯化硅的液相混合物，以降低液相混合物的腐蚀性能；硅烷精馏一塔6，其接收所述液相混合物，用于脱除液相混合物中的轻组分和重组分，以得到含有微量重组分的粗硅烷；以及，硅烷精馏二塔9，其接收含有微量重组分的粗硅烷，用于脱除粗硅烷中的微量重组分，以得到纯度为6N及以上的产品硅烷。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宣城矽立科新材料有限公司 两塔精馏系统
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