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一种材料表面Ni-DLC涂层及其制备方法 

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申请/专利权人:上海电子信息职业技术学院

摘要:本发明属于材料表面处理技术领域,具体涉及一种材料表面Ni‑DLC涂层及其制备方法。在基体工件表面依次沉积金属Ni层以及Ni‑DLC层,Ni‑DLC层的厚度为0.1~3.0微米。本发明采用电弧离子镀或磁控溅射技术来制备Ni层以及Ni‑DLC层,在制备Ni‑DLC层过程中同时开启热丝或离子源,促进气体的离化,提高等离子体密度和涂层致密度。所制备的Ni‑DLC涂层不仅具有较高的纳米硬度15GPa以上,而且具有较低的摩擦因数,尤其是适用于超低温摩擦领域,在‑40~‑160℃条件下摩擦因数不高于0.1。

主权项:1.一种材料表面Ni-DLC涂层,其特征在于,在基体表面依次沉积金属Ni层以及Ni-DLC层,Ni层的厚度为0.1~0.2微米,Ni-DLC层的厚度为0.3~3.0微米。

全文数据:

权利要求:

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