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发光二极管制备方法及发光二极管 

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申请/专利权人:京东方华灿光电(浙江)有限公司

摘要:本公开提供了一种发光二极管制备方法及发光二极管。所述方法包括:在衬底上制作外延结构;在所述外延结构上制作一层图形化的电流阻挡薄膜;在所述电流阻挡薄膜遮挡下,对所述外延结构进行图形化处理,形成台阶结构,所述台阶结构的侧壁斜坡在所述衬底上的投影的宽度为0.8~1.3μm;对所述电流阻挡薄膜进行图形化处理,得到电流阻挡层;制作电流扩展层,所述电流扩展层位于所述电流阻挡层上,且与所述外延结构连接;制作第一电极和第二电极,所述第一电极位于所述台阶结构的台阶面上,所述第二电极位于所述电流扩展层上。

主权项:1.一种发光二极管制备方法,其特征在于,所述方法包括:在衬底100上制作外延结构1000;在所述外延结构1000上制作一层图形化的电流阻挡薄膜;在所述电流阻挡薄膜遮挡下,对所述外延结构1000进行图形化处理,形成台阶结构,所述台阶结构的侧壁斜坡在所述衬底100上的投影的宽度为0.8~1.3μm;对所述电流阻挡薄膜进行图形化处理,得到电流阻挡层104;制作电流扩展层105,所述电流扩展层105位于所述电流阻挡层104上,且与所述外延结构1000连接;制作第一电极106和第二电极107,所述第一电极106位于所述台阶结构的台阶面上,所述第二电极107位于所述电流扩展层105上。

全文数据:

权利要求:

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