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申请/专利权人：西北核技术研究所
摘要：本发明涉及CMOS图像传感器的测试装置及方法，具体涉及一种CMOS图像传感器有效空间电荷区厚度的测定装置及方法，解决了由于工艺流程和参数难以获取，导致无法获得CMOS图像传感器有效空间电荷区厚度的技术问题。本发明提供的测定装置包括高精密电动转台、支撑板、测试评估板、遮光板、控制计算机、直流电源和质子加速器，利用CMOS图像传感器对质子束流产生的瞬态亮线，对CMOS图像传感器的有效空间电荷区厚度进行测定。本发明利用质子辐照，通过实验方法实现了在无法获得器件工艺流程、参数的情况下对CMOS图像传感器的有效空间电荷区厚度进行准确测量，为CMOS图像传感器单粒子瞬态效应评估和加固设计奠定了基础。
主权项：1.一种CMOS图像传感器有效空间电荷区厚度的测定装置，其特征在于：包括位于辐照间的高精密电动转台1、支撑板2、芯片测试板4、辐照板5、遮光板7、控制计算机8、直流电源9和质子加速器10；所述质子加速器10用于产生质子束流，从而对待测CMOS图像传感器6进行质子辐照；所述高精密电动转台1位于质子束流的辐照区域且与水平面平行设置；所述支撑板2垂直设置在高精密电动转台1上；所述辐照板5固定在支撑板2上，用于安装待测CMOS图像传感器6，待测CMOS图像传感器6的安装位置与质子加速器10的发射端高度对应，且位于高精密电动转台1的中心轴上；所述遮光板7设置在待测CMOS图像传感器6的前端，用于在测试过程中对待测CMOS图像传感器6进行遮光；所述芯片测试板4、直流电源9和控制计算机8设置在远离质子束流的区域；所述芯片测试板4与辐照板5通过转接线连接，芯片测试板4的电源接口与直流电源9的输出端连接，输入端与控制计算机8的输出端连接，输出端与控制计算机8的输入端连接，芯片测试板4用于控制待测CMOS图像传感器6工作并采集图像信号，直流电源9用于为芯片测试板4供电；所述控制计算机8的输出端还与高精密电动转台1的控制端连接，用于对高精密电动转台1和芯片测试板4进行控制、接收芯片测试板4采集到的图像信号，以及对图像信号进行处理得到待测CMOS图像传感器6的有效空间电荷区厚度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西北核技术研究所 CMOS图像传感器有效空间电荷区厚度的测定装置及方法
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