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申请/专利权人：川泽科技(武汉)有限公司
摘要：一种用于晶圆生产的新型改性高分子固定座，它涉及晶圆生产设备的改进，具体涉及一种晶圆生产高分子固定座的改进。固定座为改性材料改性的聚酰亚胺高分子材料；所述的改性材料为玻璃纤维、碳纤维、石墨、聚四氟乙烯中的一种或多种组合；所述改性材料的重量份数占比总重量的5％‑60％；所述聚酰亚胺高分子材料为均苯型聚酰亚胺、可溶性聚酰亚胺、聚酰胺‑酰亚胺、聚醚亚胺中的一种。所述固定座的外侧下部设置有外螺纹，固定座的外径为8‑16mm，外螺纹选用螺距为1.0mm‑1.25mm的细牙斜螺纹。它采用改性的聚酰亚胺材质，具有超高耐腐蚀、耐磨性、耐高温、高强度、材料稳定性和抗吸水能力，成本与现有材质持平；它还较好的解决了现有固定座外螺纹易松动问题，提高了产品的可靠性，降低了维护成本。
主权项：1.一种用于晶圆生产的新型改性高分子固定座，其特征在于：固定座为改性材料改性的聚酰亚胺高分子材料；所述的改性材料为玻璃纤维、碳纤维、石墨、聚四氟乙烯中的一种或多种组合；所述改性材料的重量份数占比总重量的5％-60％。
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权利要求：
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