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申请/专利权人：西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)

摘要：本发明涉及半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种振动式激光改质晶片分离机构，解决改质层剥离过程收缩力控制难度大，易造成碎片的技术缺陷，其包括底板、支撑架、下吸盘组件和上吸盘组件，上吸盘组件包括竖直驱动组件和上吸盘，上吸盘的下表面配置有负压槽，上吸盘连接至竖直驱动组件的活动端，上吸盘的左右两侧固定连接有振动器；下吸盘组件包括下吸盘底座和下吸盘，下吸盘的上表面配置有负压槽，下吸盘通过导向销钉和直线轴承与下吸盘底座连接；下吸盘底座上连接有光电传感器，下吸盘上连接有与光电传感器对应配合的传感器片。通过该机构能顺利将晶锭表层从晶锭分离开，整个过程简单高效，该过程中振动力容易控制，能最大限度避免造成碎片。

主权项：1.一种振动式激光改质晶片分离机构，其特征在于，包括底板（7）、支撑架（8）、下吸盘组件（9）和上吸盘组件（10），上吸盘组件（10）通过支撑架（8）固定连接至地板上，下吸盘组件（9）固定连接至底板（7）上，上吸盘组件（10）包括竖直驱动组件和上吸盘（22），上吸盘（22）的下表面配置有连接负压系统的负压槽（15），上吸盘（22）连接至竖直驱动组件的活动端，上吸盘（22）的左右两侧分别水平延伸有安装侧板（23），安装侧板（23）上开有通孔，安装侧板（23）上固定连接有振动器（21），振动器（21）的输出轴从通孔穿出；下吸盘组件（9）包括下吸盘底座（11）和下吸盘（14），下吸盘（14）的上表面配置有连接负压系统的负压槽（15），下吸盘（14）的底部连接有至少三根导向销钉（12），下吸盘底座（11）上穿置连接有与导向销钉（12）数量相等且位置对应的直线轴承（13），导向销钉（12）与直线轴承（13）配合连接，下吸盘底座（11）上还固定连接有位于竖直方向上的液压缓冲器（16），液压缓冲器（16）的活动端朝上设置可与下吸盘（14）的底部相接触，下吸盘（14）的左右两侧分别水平延伸有用于接触振动器（21）的输出轴的承接板（24），两块承接板（24）分别与两块安装侧板（23）位置对应；下吸盘底座（11）上连接有光电传感器（17），下吸盘（14）上连接有与光电传感器（17）对应配合的传感器片（18）。

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权利要求：

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