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申请/专利权人：西安励德微系统科技有限公司
摘要：一种MEMS器件通用清洗夹具，包括清洗底板，纵向可动卡板，横向可动卡板、四根圆柱以及起固定作用的两组螺钉和螺母，可以实现非标MEMS器件以垂直方位完成清洗流程，双面完整浸润在清洁溶剂中，去离子水冲洗也不存在冲洗死角，提高器件清洗效果及操作效率。同时可根据不同种类MEMS器件外形尺寸，调整夹具适配高度和宽度，具有一定通用性，降低器件清洗夹具制作成本。
主权项：1.一种MEMS器件通用清洗夹具，其特征在于，包括清洗底板（1）、纵向可动卡板（2）、横向可动卡板（3）、四根圆柱（4）以及作为固定作用的两组螺钉和螺母组成，清洗底板（1）上插入四根圆柱（4），圆柱上再套入纵向可动卡板（2），两组螺钉和螺母将横向可动卡板（3）与纵向可动卡板（2）连接，整个夹具均采用聚四氟乙烯材质。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安励德微系统科技有限公司 一种MEMS器件通用清洗夹具
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