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申请/专利权人：上海交通大学
摘要：本发明涉及超声操控微粒和微流体、超声组织消融术、超声神经调控技术和水下航行器末端精确声制导领域，特别涉及一种无机械运动时，焦点轴向位置精确可调的高度聚焦声场的微型电子机械系统MEMSMicro‑ElectroMechanicalSystem器件设计与制备技术。本发明的焦距精确可调的聚焦声场MEMS器件设计部分包含二元全息圆环形金属电极、压电材料和水密耦合层材料；制备流程包括洁净室光刻法、旋涂密封法、电极引线焊接；通过在MEMS器件设计频率附近动态调节激励电信号频率，可获得预期焦距的聚焦声场。本发明提出的焦距精确可调的聚焦声场MEMS设计和制备方法，为高质量聚焦声场应用领域提供一种无需棱镜、经济有效的技术方案。
主权项：1.一种焦距精确可调的聚焦声场MEMS器件，其特征在于，包括：压电材料基底；至少两组等相圆环簇电极，分别设置在所述压电材料基底的表面，其中一组等相圆环簇电极用于接正极，另一组反相的等相圆环簇电极用于接负极，所述两组等相圆环簇电极满足如下公式：接正极的等相圆环簇电极： 接负极的等相圆环簇电极： 其中，C为常数，Ckh，每一个整数n取值对应一组反相圆形电极对；联通电极，用于确保每一组圆环簇电极具有相同的初始相位；耦合层，覆盖在所述电极上以实现水密处理；电极引线，接到在所述电极的末端，用于连接功率放大器以输入信号与能量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海交通大学 一种焦距精确可调的聚焦声场MEMS器件及其制备方法
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