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申请/专利权人：北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司
摘要：本申请提供一种离子注入机的传送机构，包括：测距装置，设置在传送机构上方；抓取装置，设置在传送机构内，用于抓取并放置晶圆。抓取装置包括：旋转轴和机械手；旋转轴的第一端固定连接在传送机构上；机械手连接于旋转轴的第二端，并相对旋转轴转动，机械手抓取晶圆后的至少一个阶段中，晶圆平行位于旋转轴的第二端的端面上方。其中，机械手上没有晶圆时，测距装置用于检测测距装置到旋转轴的第二端的端面的距离，机械手上有晶圆时，测距装置用于检测测距装置到机械手上装载的晶圆的距离。本申请的离子注入机的传送机构用于传送晶圆，可以降低晶圆掉落后的次生故障的发生，从整体上降低设备运行故障造成的损失。
主权项：1.一种离子注入机的传送机构，其特征在于，包括：测距装置，设置在所述传送机构上方；抓取装置，设置在所述传送机构内，用于抓取并放置晶圆，所述抓取装置包括：旋转轴，所述旋转轴的第一端固定连接在所述传送机构上；机械手，所述机械手连接于所述旋转轴的第二端，并相对所述旋转轴转动，所述机械手抓取所述晶圆后的至少一个阶段中，所述晶圆平行位于所述旋转轴的第二端的端面上方；其中，所述机械手上没有晶圆时，所述测距装置用于检测所述测距装置到所述旋转轴的第二端的端面的距离，所述机械手上有晶圆时，检测所述测距装置到所述机械手上装载的所述晶圆的距离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司 离子注入机的传送机构
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