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申请/专利权人：苏州通富超威半导体有限公司
摘要：本公开的实施例提供一种用于显微镜的可移动载具和显微镜系统，显微镜包括底座、立设于底座的支撑架以及支撑于支撑架的显微镜头，可移动载具包括移动机构和承载平台。移动机构用于设置在底座上；承载平台设置在移动机构背离底座的一侧，承载平台用于承载托盘，托盘内用于放置待测物；其中移动机构能够使得承载平台沿第一方向和第二方向移动，第一方向与第二方向不同；承载平台背离移动机构的一侧可移动地设置有用于限位固定托盘的限位组件。本公开的实施例的用于显微镜的可移动载具，通过所设置的移动机构和承载平台，可以减少托盘与底座之间的摩擦，从而减少异物，并且方便实现对材料进行多方位测量和检查。
主权项：1.一种用于显微镜的可移动载具，所述显微镜包括底座、立设于所述底座的支撑架以及支撑于所述支撑架的显微镜头，其特征在于，所述可移动载具包括：移动机构，所述移动机构用于设置在所述底座上；承载平台，所述承载平台设置在所述移动机构背离所述底座的一侧，所述承载平台用于承载托盘，所述托盘内用于放置待测物；其中，所述移动机构能够使得所述承载平台沿第一方向和第二方向移动，所述第一方向与所述第二方向不同；所述承载平台背离所述移动机构的一侧可移动地设置有用于限位固定所述托盘的限位组件。
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权利要求：
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