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申请/专利权人：武汉大学
摘要：本发明属于微机械谐振器技术领域，公开了一种恒温控制微机械谐振器，包括加热梁、隔热框、谐振振子和支撑梁，谐振振子位于隔热框围成的内部区域中，谐振振子通过支撑梁与隔热框的内侧连接，隔热框的外侧与加热梁连接；隔热框由声子晶体阵列组成，且具有规律排布的声子晶体通孔。本发明提供的微机械谐振器能够在高温下保持高Q值，具有很好的频率稳定性，能够在保持足够的机械强度下拥有较低的热导，可以有效降低器件功耗。
主权项：1.一种恒温控制微机械谐振器，其特征在于，包括：加热梁、隔热框、谐振振子、支撑梁、固定锚点、衬底硅片、测温电极和驱动检测电极；所述谐振振子位于所述隔热框围成的内部区域中，所述谐振振子通过所述支撑梁与所述隔热框的内侧连接；所述隔热框的外侧与所述加热梁连接；所述隔热框由声子晶体阵列组成，且具有规律排布的声子晶体通孔；所述衬底硅片具有正面空腔结构，所述谐振振子、所述支撑梁、所述隔热框和所述加热梁均悬空于所述衬底硅片的上方，且通过所述固定锚点与所述衬底硅片连接；多个所述固定锚点分别与其对应的一个所述加热梁连接；所述加热梁和所述固定锚点均关于微机械谐振器整体结构对称排布；所述测温电极和所述驱动检测电极均位于所述固定锚点上；微机械谐振器的加热方式为在对称位置的固定锚点之间施加加热电压，通过电阻加热的方式将所述谐振振子加热到固定温度，所述固定温度为频率拐点温度；微机械谐振器采用电阻测温或谐振频率测温的方式对微机械谐振器整体结构的温度变化进行实时监测，并采用闭环反馈控制电路对所述加热电压进行实时调节，实现恒温控制功能。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉大学 一种恒温控制微机械谐振器
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