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申请/专利权人：上海汉虹精密机械有限公司

摘要：本发明涉及碳化硅长晶设备技术领域。一种炉底盘开闭机构，包括炉体，炉体的底部设有上下设置的下法兰以及炉底盘；还包括用于锁定炉底盘以及松开炉底盘的旋转开闭组件，旋转开闭组件包括旋转定位环，下法兰与旋转定位环转动连接；旋转开闭组件包括驱动旋转定位环周向转动的驱动机构，驱动机构与旋转定位环传动连接；旋转定位环的内侧安装有周向排布的滚轮传动组件；炉底盘的下侧面设有相邻设置的开口槽以及导向斜面，导向斜面从邻近开口槽处至远离开口槽处倾斜向下。本发明将上开盖的形式，改良为下开盖形式。通过旋转开闭机构的旋转定位环的旋转进而实现炉底盘的锁定以及松开的切换。

主权项：1.一种炉底盘开闭机构，包括炉体，其特征在于，所述炉体的底部设有上下设置的下法兰以及炉底盘；还包括用于锁定所述炉底盘以及松开所述炉底盘的旋转开闭组件，所述旋转开闭组件包括旋转定位环，所述下法兰与所述旋转定位环转动连接；所述旋转开闭组件包括驱动所述旋转定位环周向转动的驱动机构，所述驱动机构与所述旋转定位环传动连接；所述旋转定位环的内侧安装有周向排布的滚轮传动组件；所述炉底盘的下侧面设有相邻设置的开口槽以及导向斜面，所述导向斜面从邻近开口槽处至远离所述开口槽处倾斜向下；所述滚轮传动组件包括轮体、滚轮轴、隔套以及螺母；所述旋转定位环上开设有穿过滚轮轴的穿孔，所述滚轮轴依次穿过所述轮体、所述隔套以及所述穿孔后，通过所述螺母锁紧固定；所述开口槽与所述炉底盘的径向外侧导通；所述旋转定位环设有向下延伸的翻边，所述翻边的内侧安装有所述滚轮传动组件；所述下法兰的外围可拆卸连接有定位环座；所述定位环座支撑所述旋转定位环；所述定位环座上接触所述旋转定位环侧固定有耐磨垫板；所述旋转定位环的上端面固定有耐磨垫圈；所述驱动机构包括电缸，所述电缸的缸体与安装在所述炉体侧壁的电缸尾座铰接；所述电缸的伸缩端安装有万向轴承，所述万向轴承通过连接轴与所述旋转定位环活动连接；所述旋转定位环的外侧固定有锁紧支座，所述锁紧支座上安装有所述连接轴，所述万向轴承与锁紧支座之间夹设有穿过连接轴的垫圈；炉体为长晶炉；下法兰是炉体副腔室底部的下法兰；炉体的副腔室的侧壁开设有气口；当滚轮传动组件与所述导向斜面压紧时，所述炉底盘处于锁定状态；炉体内是真空加热状态，此时设备处理工作状态，不可以打开炉底盘，旋转定位环上的滚轮传动组件的轮体与炉底盘的导向斜面完全压紧，确保炉内密封可靠；当滚轮传动组件位于开口槽处时，所述炉底盘处于松开状态；炉底盘上的开口槽与旋转定位环上的滚轮传动组件位置吻合，此时如果将炉内压力充气至常大压时，打开炉底盘，将炉底盘下降，取出炉内热场和晶体。

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