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申请/专利权人:先导电子科技股份有限公司
摘要:本发明涉及旋转靶材制备技术领域,公开了一种靶材制备电动辅助装置,其包括机架以及设于机架上的直线导轨和安装座,直线导轨竖直设置,直线导轨上设有可沿其滑动的滑块,安装座包括顶座和底座,其中顶座与滑块固定连接,顶座上设有插拔气缸,底座上则设有与插拔气缸的输出轴相连接的推拉杆,底座上还设有旋转电机和旋转盘,旋转电机与旋转盘传动连接,旋转盘上设有四根竖直设置的插杆。与现有技术相比,该靶材制备电动辅助装置能够代替人工实现插杆的转动和上下运动,结构简单可靠、易于操作;插杆的转动与上下运动均受到控制,与人工操作相比施工精度更高,避免了插杆剐蹭模具内壁,提升了产品的合格率。
主权项:1.一种靶材制备电动辅助装置,其特征在于,包括:机架,所述机架设有竖直设置的直线导轨,所述直线导轨上设有可沿其滑动的滑块:安装座,所述安装座包括顶座和底座,所述顶座与所述滑块固定连接,所述顶座设有插拔气缸,所述底座设有与所述插拔气缸的输出轴相连接的推拉杆,所述底座设有旋转电机和旋转盘,所述旋转电机通过传动组件与所述旋转盘传动连接,所述旋转盘上设有竖直设置的插杆,所述旋转盘上设有第一直线轴承,所述插杆通过所述第一直线轴承与所述旋转盘相连接,所述底座上设有第二直线轴承,所述推拉杆通过所述第二直线轴承与所述底座相连接。
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