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一种高钪含量铝钪合金靶材的绑定方法 

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申请/专利权人:福州大学;福建省金龙稀土股份有限公司

摘要:本发明提供了一种高钪含量铝钪合金靶材的绑定方法。所述方法是指在高钪含量(Sc含量≥20at%)铝钪合金靶材的焊接面先镀覆一层纯镍薄膜,然后将镀镍的铝钪合金靶材和背板加热到200~250℃,再放置In‑Ga‑Sn‑Bi‑Al合金钎料,将其刮涂均匀后使用超声波浸润钎料,以增强钎料和靶材的润湿性,最后将靶材和背板扣合在一块,同时在靶材组件表面持续施加压力,直至冷却到室温,最终获得焊接结合率≥95%,焊接结合强度≥12MPa的高钪含量铝钪合金靶材组件。

主权项:1.一种高钪含量铝钪合金靶材的绑定方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)首先在铝钪合金靶材的焊接面上镀覆一层纯镍薄膜;(2)将镀覆后的铝钪合金靶材和背板进行加热,再将钎料置于铝钪合金靶材和背板的焊接面上;(3)待钎料熔化后对焊接面进行超声波浸润,浸润完成后,再将铝钪合金靶材与背板扣合在一起,形成靶材组件,接着在靶材组件表面持续施加压力,然后停止加热并冷却至室温,最后得到焊接后的靶材组件。

全文数据:

权利要求:

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