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申请/专利权人：南京中安半导体设备有限责任公司
摘要：本申请提供了一种气浮卡盘及晶圆几何参数测量装置。该气浮卡盘包括由多孔材料组成的第一多孔层；进气层，与第一多孔层堆叠设置且与供应第一气体的第一气体供应部件连接，用于向第一多孔层传输第一气体以利用第一气体提供的支撑力使晶圆悬浮。本申请实施例能够利用气浮卡盘提供均匀的气浮条件，避免由于气流的不稳定或卡盘结构设计缺陷等原因造成晶圆很难稳定地悬浮在卡盘上方。
主权项：1.一种气浮卡盘，其特征在于，包括：由多孔材料组成的第一多孔层，其中，所述第一多孔层包括用于使第一气体通过且与第一气体供应部件连通的多个第一区域和用于使第二气体通过且与第二气体供应部件连通的多个第二区域，所述多个第一区域和所述多个第二区域交替布置；进气层，与所述第一多孔层堆叠设置且与供应所述第一气体的所述第一气体供应部件连接，用于向所述第一多孔层传输所述第一气体以利用所述第一气体提供的支撑力使晶圆悬浮，所述进气层还与供应所述第二气体的所述第二气体供应部件连接，用于经所述第一多孔层传输所述第二气体以利用所述第二气体提供的吸力调整所述晶圆的第一表面的形状，所述第一表面为所述晶圆靠近所述第一多孔层的表面，其中，所述进气层的中部为空心结构，所述空心结构包括基于所述第一多孔层划分形成的多个中空结构，所述多个中空结构的开口与所述第一多孔层靠近所述进气层的表面接触，所述第一气体供应部件供应的第一气体进入所述多个中空结构中后向所述第一多孔层传输。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京中安半导体设备有限责任公司 气浮卡盘及晶圆几何参数测量装置
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