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申请/专利权人：武汉精立电子技术有限公司;武汉加特林光学仪器有限公司
摘要：本发明公开了一种曲面光学元件瑕疵检测装置，包括：检测装置、成像镜头和补偿镜组；检测装置、成像镜头与补偿镜组，以及待测曲面光学元件依次排列；补偿镜组，用于将待测曲面光学元件的待测面成像至中间像面；中间像面是平面；成像镜头用于将待测面在中间像面所成的像，成像至检测装置。本发明通过补偿镜组产生反向场曲，补偿曲面光学元件待测面的弯曲，使得检测装置可以一次性对曲面光学元件的表面成像，可以有效提高检测效率。
主权项：1.一种曲面光学元件瑕疵检测装置，包括：检测装置、成像镜头和补偿镜组；所述检测装置、所述成像镜头与所述补偿镜组，以及待测曲面光学元件依次排列；所述补偿镜组，用于将所述待测曲面光学元件的待测面成像至中间像面；所述中间像面是平面；所述成像镜头用于将待测面在中间像面所成的像，成像至所述检测装置。
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百度查询： 武汉精立电子技术有限公司 武汉加特林光学仪器有限公司 一种曲面光学元件瑕疵检测装置和方法
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