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申请/专利权人：广东工业大学
摘要：本发明公开了一种液相辅助空气中烧结高性能互连接头的方法，涉及材料工程技术领域。本发明液相辅助空气中烧结高性能互连接头的方法，包括以下步骤：将互连材料涂覆在基板上，将芯片盖在互连材料的表面；将包覆材料涂覆在芯片和基板的连接处的四周，包覆材料为有机溶液或底部填充胶，得到互连结构样品；将互连结构样品在空气中进行烧结，烧结的温度小于包覆材料中有机物分解的温度，得到高性能互连接头。本发明通过将包覆材料涂覆在芯片和基板的连接处的四周，将互连材料与外界空气实现物理分隔，能够有效避免互连材料在烧结过程中发生氧化，本发明的烧结条件和步骤简单，烧结过程高效，生产成本低。
主权项：1.一种液相辅助空气中烧结高性能互连接头的方法，其特征在于，包括以下步骤：1将互连材料涂覆在基板上，将芯片盖在互连材料的表面；2将包覆材料涂覆在芯片和基板的连接处的四周，互连材料被包覆在由基板、芯片和包覆材料所形成的密闭空间内，包覆材料为有机溶液或底部填充胶，得到互连结构样品；3将互连结构样品在空气中进行烧结，烧结的温度小于包覆材料中有机物分解的温度，得到高性能互连接头；所述有机溶液的溶质为水溶性或者醇溶性的有机物；所述互连材料为纳米铜浆料、复合微纳米铜浆料和铜基合金材料中的任意一种或多种的组合。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东工业大学 一种液相辅助空气中烧结高性能互连接头的方法
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