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申请/专利权人：江锦(海宁)微电子科技有限公司
摘要：本实用新型涉及抛光设备技术领域，且公开了一种硬脆晶圆的抛光装置，包括操作台，所述操作台的底部固定安装有四个支撑腿，所述操作台的上表面两侧位置固定安装有两个竖板，所述竖板的内侧表面固定安装有电动推杆，所述电动推杆的前端活动插设有螺纹杆，所述螺纹杆贯穿至电动推杆，所述螺纹杆的顶端固定安装有旋钮，所述螺纹杆的底部固定安装有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧的底部固定安装有压块，该一种硬脆晶圆的抛光装置，通过缓冲块外表面开设的滑槽便于使在驱动电机输出端安装的限位块进行上下平移，当缓冲块内的缓冲弹簧带动抛光盘上下移动时会减缓抛光盘与晶圆所接触时产生的压力，防止晶圆出现碎裂的现象。
主权项：1.一种硬脆晶圆的抛光装置，包括操作台1，其特征在于：所述操作台1的底部固定安装有四个支撑腿2，四个所述支撑腿2呈矩形阵列在操作台1底部，所述操作台1的上表面两侧位置均固定安装有两个缩放杆3，所述操作台1的上表面两侧位置固定安装有两个竖板4，所述竖板4的内侧表面固定安装有电动推杆5，所述电动推杆5的前端活动插设有螺纹杆6，所述螺纹杆6贯穿至电动推杆5，所述螺纹杆6的顶端固定安装有旋钮7，所述螺纹杆6的底部固定安装有缓冲弹簧8，所述缓冲弹簧8的底部固定安装有压块9。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江锦(海宁)微电子科技有限公司 一种硬脆晶圆的抛光装置
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