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申请/专利权人：北京晶亦精微科技股份有限公司
摘要：本发明提供一种基于修整器的抛光垫修整方法、装置、修整器及抛光设备。该方法包括：利用修整器根据预先获取的初始扫描配方，开始对抛光垫进行修整；其中，扫描配方包括修整器中扫描电机扫描的位置、时间和扫描曲线类型；在对抛光垫修整过程中，获取扫描电机在扫描过程中的实际扭矩；根据实际扭矩，确定扫描电机的扭矩变化是否正常；若扫描电机的扭矩变化不正常，则基于实际扭矩，调整初始扫描配方，得到临时扫描配方；利用修整器根据临时扫描配方，对抛光垫继续进行修整，并重复执行在对抛光垫修整过程中，获取扫描电机在扫描过程中的实际扭矩的步骤及后续步骤，直至完成对抛光垫的修整。本发明能够使抛光垫均匀磨损，提高抛光垫的使用性能。
主权项：1.一种基于修整器的抛光垫修整方法，其特征在于，包括：利用所述修整器根据预先获取的初始扫描配方，开始对抛光垫进行修整；其中，扫描配方包括修整器中扫描电机扫描的位置、时间和扫描曲线类型；在对所述抛光垫修整过程中，获取所述扫描电机在扫描过程中的实际扭矩；根据所述实际扭矩，确定所述扫描电机的扭矩变化是否正常；若所述扫描电机的扭矩变化不正常，则基于所述实际扭矩，调整所述初始扫描配方，得到临时扫描配方；利用所述修整器根据所述临时扫描配方，对所述抛光垫继续进行修整，并重复执行所述在对所述抛光垫修整过程中，获取所述扫描电机在扫描过程中的实际扭矩的步骤及后续步骤，直至完成对所述抛光垫的修整。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京晶亦精微科技股份有限公司 基于修整器的抛光垫修整方法、装置、修整器及抛光设备
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