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申请/专利权人：西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
摘要：本发明涉及硬脆材料的激光加工技术领域，尤其涉及一种用于硬脆材料激光改质的温度可控加工装置，解决了现有激光改质加工技术中存在待加工材料温度升高导致其加工质量与一致性差，激光一次性改质诱导的裂纹扩展范围难以扩大的技术问题，其包括激光光源、光路系统、激光加工头、真空吸附载物台、制冷装置和运动平台；真空吸附载物台固定连接至制冷装置上，制冷装置安装至运动平台的活动块上，真空吸附载物台上设置温度传感器，制冷装置中设置有温度控制器，温度控制器电连接有红外测温仪，运动平台上设置有运动控制器，真空系统、温度控制器和运动控制器均电连接至计算机。本发明能调节待加工板材的温度，提高硬脆材料激光诱导裂纹扩展的效率。
主权项：1.一种用于硬脆材料激光改质的温度可控加工装置，其特征在于，包括激光光源1、光路系统2、激光加工头3、真空吸附载物台5、制冷装置6、和运动平台7；激光光源1通过光路系统2连接激光加工头3，真空吸附载物台5固定连接至制冷装置6上，制冷装置6安装至运动平台7的活动块上，真空吸附载物台5上设置有温度传感器，真空吸附载物台5还连接有真空系统11，待加工板材4通过真空系统11吸附至真空吸附载物台5上，制冷装置6中设置有温度控制器10，温度传感器与温度控制器10电连接，温度控制器10还电连接有用于监测待加工板材4温度的红外测温仪8，运动平台7上设置有运动控制器9，真空系统11、温度控制器10和运动控制器9均电连接至用于上位控制的计算机12。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所) 一种用于硬脆材料激光改质的温度可控加工装置
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