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申请/专利权人：安徽微迈思科技有限公司
摘要：本实用新型提供一种OLED蒸镀机点蒸发源坩埚组件，包括蒸发源底座以及加热坩埚组件，所述蒸发源底座包括坩埚支撑组件，所述坩埚支撑组件上方设有冷却外套，所述加热坩埚组件活动插接于所述冷却外套内；所述加热坩埚组件包括坩埚主体以及加热组件，所述加热组件包括设置于所述坩埚主体侧壁和底板内的加热丝、以及位于所述坩埚主体内部中央的均热装置。坩埚封装有侧面、底部加热丝以及坩埚内部中央放置有均热装置，提高加热能力的同时，使得坩埚内部温度保持一致。热传递路径减少，热传递效率大大提高。通过设置鸭嘴喷头可以将蒸渡气体均匀一致地喷射到基板上，喷射的角度范围更广，避免了喷射盲处的产生，喷射效率更高。
主权项：1.一种OLED蒸镀机点蒸发源坩埚组件，包括蒸发源底座以及与所述蒸发源底座连接的加热坩埚组件1，其特征在于：所述蒸发源底座包括坩埚支撑组件2，所述坩埚支撑组件2上方设有冷却外套4与所述加热坩埚组件1，所述加热坩埚组件1活动插接于所述冷却外套4内；所述加热坩埚组件1包括坩埚主体以及加热组件，所述加热组件包括设置于所述坩埚主体侧壁和底板内的加热丝、以及所述坩埚主体内部中央向上延伸的均热装置19。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽微迈思科技有限公司 一种OLED蒸镀机点蒸发源坩埚组件
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