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申请/专利权人：怡通科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种磁控蒸发双面镀膜机，包括真空室内设置的收放卷组件、超薄膜平整维持组件、镀膜辊、蒸发镀膜组件和磁控溅射镀膜组件，所述收放卷组件与超薄膜平整维持组件之间设有至少一根螺纹辊。采用设备内置两组蒸发镀膜组件和磁控溅射镀膜组件，使薄膜可以在设备内选择任一一种镀膜方式，实现更好的设备适用性，完成更多预期作业，降低设备整体购置成本；通过超薄膜平整维持组件和螺纹辊使薄膜可以在大宽幅情况下仍然保持薄膜表面平整，本申请的设备可镀膜的博幅面宽度可达1600mm，远超传统镀膜设备。
主权项：1.磁控蒸发双面镀膜机，包括真空室，所述真空室由固定机壳和移动机壳构成，固定机壳和移动机壳密闭连接后构成内部密闭的真空镀膜作业空间，所述固定机壳上安置有若干个分子泵，其特征在于：所述镀膜作业空间内设置有由第一收放卷组件和第二收放卷组件构成的收放卷组件、由第一超薄膜平整维持组件和第二超薄膜平整维持组件构成的超薄膜平整维持组件、由第一镀膜辊和第二镀膜辊构成的镀膜辊、由第一蒸发镀膜组件和第二蒸发镀膜组件构成的蒸发镀膜组件和由第一磁控溅射镀膜组件和第二磁控溅射镀膜组件构成的磁控溅射镀膜组件，自第一收放卷组件向第一超薄膜平整维持组件、第一镀膜辊、第一蒸发镀膜组件、第一磁控溅射镀膜组件、第二镀膜辊、第二蒸发镀膜组件、第二磁控溅射镀膜组件、第二超薄膜平整维持组件和第二收放卷组件构成薄膜镀膜通道，所述收放卷组件与超薄膜平整维持组件之间设有至少一根螺纹辊，所述螺纹辊上设有两组螺纹，两组螺纹自螺纹辊中间向两侧延伸且两组螺纹方向相反，所述螺纹凹入螺纹辊表面且螺纹边缘具有圆弧倒角。
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