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申请/专利权人：大日本印刷株式会社
摘要：本公开的蒸镀掩模具备：掩模基板，其含有硅；掩模层，其具有第1面、和位于与第1面相反的一侧并且与掩模基板对置的第2面；以及贯通孔，其贯通掩模层。掩模基板具有基板开口。在俯视时，贯通孔位于基板开口内。掩模层具有构成第1面的掩模主体层、和位于掩模主体层与掩模基板之间的掩模中间层。掩模主体层含有树脂材料。
主权项：1.一种蒸镀掩模，其中，所述蒸镀掩模具备：掩模基板，其含有硅；掩模层，其具有第1面、和位于与所述第1面相反的一侧并且与所述掩模基板对置的第2面；以及贯通孔，其贯通所述掩模层，所述掩模基板具有基板开口，在俯视时，所述贯通孔位于所述基板开口内，所述掩模层具有：构成所述第1面的掩模主体层；和位于所述掩模主体层与所述掩模基板之间的掩模中间层，所述掩模主体层含有树脂材料。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 大日本印刷株式会社 蒸镀掩模、带框架的蒸镀掩模、蒸镀掩模的制造方法、有机器件的制造方法以及带框架的蒸镀掩模的制造方法
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