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基于梯度复合一体化结构的宽线性响应范围力触觉传感器 

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申请/专利权人:哈尔滨工业大学

摘要:本发明提供了一种基于梯度复合一体化结构的宽线性响应范围的力触觉传感器及其制备方法。本发明传感器由两个柔性衬底电极分别层压至梯度复合一体化结构复合导电薄膜的上、下方构成。该传感器通过接触电阻响应机制增强导电通路响应机制的方式有效解决了目前触觉传感器无法在大响应范围内保持高灵敏度和线性的问题,实现了宽响应范围、高灵敏度及线性触觉传感器的制备。该传感器的发明将有效解决现阶段智能机器人无法实现多场景精准感知及电路复杂的问题,为实现轻型化、便利化人工智能设备提供有利条件。

主权项:1.一种基于梯度复合一体化结构的宽线性响应范围力触觉传感器,其特征在于,包括上柔性衬底电极、梯度复合一体化结构导电复合薄膜、导电材料和下柔性衬底电极;所述梯度复合一体化结构的宽线性响应范围力触觉传感器通过将柔性衬底电极层压至梯度复合一体化结构复合导电薄膜上、下方构筑而成,最后采用聚合物材料对该传感器进行封装;所述梯度复合一体化结构导电薄膜,由梯度复合一体化结构聚合物薄膜和导电材料组成;所述梯度复合一体化结构的聚合物薄膜通过蒸汽法和模板转印法制备,所述梯度复合一体化结构导电复合薄膜是通过溶胀填充的方式将导电材料碳纳米管均匀分散于梯度复合一体化结构二甲基硅氧烷薄膜中制备;所述的梯度复合一体化结构聚合物薄膜由梯度孔结构和金字塔状的微结构复合而成,在梯度孔结构底部引入金字塔状的微结构,其中,梯度孔结构的孔径和孔隙由上至下呈现由大至小的趋势,底层达到致密,在致密层的底端引入金字塔状的微结构;柔性衬底材料采用的是聚对苯二甲酸乙二酯,电极材料采用的是氧化铟锡,通过电子束蒸镀或热蒸镀将氧化铟锡蒸发至柔性衬底形成薄膜电极。

全文数据:

权利要求:

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