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申请/专利权人：中国计量大学
摘要：本发明公开了一种抗激光损伤的蓝光反射镜及设计方法，主要从优化膜层内部电场分布出发，选择四种不同折射率的材料，利用其中一种或两种材料的导热性交替形成内部膜层用来导热降低薄膜的温度，利用另外两种材料的抗激光损伤性能交替形成外部膜层。通过约束外部膜层中低折射率膜层的物理厚度，来约束薄膜内部电场，使空气与薄膜交界处电场为0，峰值电场在膜层内部薄膜内部而不在膜层交界处，电场基本分布外部膜层中，内部膜层中电场基本为0。本发明的蓝光反射镜对激光损伤有较高的容忍度，在激光投影显示系统中具有重要的应用价值。
主权项：1.一种抗激光损伤的蓝光反射镜的设计方法，其特征在于，包括以下步骤：1）选择导热系数大的第一高折射率材料H1和第一低折射率材料L1以及抗激光损伤性能好的第二高折射率材料H2和第二低折射率材料L2；所述第一高折射率材料H1为TiO2，所述第一低折射率材料L1为Al2O3；所述第二高折射率材料H2为HfO2或者Ta2O5，所述第二低折射率材料L2为SiO2；2）由步骤1）所选材料设定初始膜系结构Sub|H1L1^mH2L2^nH2|Air；所述初始膜系结构中的m为导热系数大的第一高折射率材料H1层和第一低折射率材料L1层的循环次数，n为抗激光损伤性能好的第二高折射率材料H2层和第二低折射率材料L2层的循环次数，其中所述m的值为7~15，所述n的值为6~9；3）在膜系设计软件中输入设定参数：入射角度，参考波长及步骤2）中的初始膜系结构；4）设定连续性优化目标，对膜系进行优化设计后，得到反射率满足要求的优化膜系结构；所述连续性优化目标的起始波段为420~500nm，角度为45°，反射率目标值为100；5）通过约束步骤4）中所得优化膜系结构中第二低折射率膜层的物理厚度在100nm~140nm范围内，来约束膜层内部电场分布。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国计量大学 一种抗激光损伤的蓝光反射镜及设计方法
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