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申请/专利权人：长鑫存储技术有限公司
摘要：本申请提供一种提高晶圆检测灵敏度的方法、装置以及存储介质。该方法包括获取晶圆外围电路区域的灰阶图；将所述灰阶图划分为至少一个像素区域；确定每个所述像素区域中的重复图像区域，所述重复图像区域为N*M像素点区域，所述重复图像区域中同一列的M个像素点的灰阶值相同；其中，N和M为大于0的整数；根据所述灰阶图中所有的所述重复图像区域，确定所述晶圆外围电路区域的出现干涉叠加的位置信息。本申请的方法可以更精准、更全面得确定出外围电路区域的重复图像区域，解决现有技术暗场扫描检测晶圆的灵敏度低，无法有效检测出晶圆的缺陷，检测效率低的问题。
主权项：1.一种提高晶圆检测灵敏度的方法，其特征在于，包括：获取晶圆外围电路区域的灰阶图；将所述灰阶图划分为至少一个像素区域；确定每个所述像素区域中的重复图像区域，所述重复图像区域为N*M像素点区域，所述重复图像区域中同一列的M个像素点的灰阶值相同；其中，N和M为大于0的整数；根据所述灰阶图中所有的所述重复图像区域，确定所述晶圆外围电路区域的出现干涉叠加的位置信息；所述获取晶圆外围电路区域的灰阶图包括：获取所述外围电路区域的黑白光学图像；对所述黑白光学图像进行灰阶转换后得到所述灰阶图；对所述黑白光学图像进行灰阶转换后得到所述灰阶图包括：根据所述黑白光学图像的图像尺寸和预设像素点数量，确定所述黑白光学图像中的像素点尺寸，得到灰度影像图；确定所述灰度影像图中每个像素点的灰阶值并进行标记，得到所述灰阶图。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 长鑫存储技术有限公司 提高晶圆检测灵敏度的方法、装置以及存储介质
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