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申请/专利权人：北京先智集成技术有限公司

摘要：本发明公开了一种新型高灵敏度多通道柔性压力传感器及其制备方法，属于传感器技术领域，该方法是首先制备图案化的硅微纳结构模板，进而制备具有微纳米结构的PDMS薄膜，在PDMS柔性衬底上制备碳纳米管薄膜作为下导电层，另一电极采用导电银浆、PEDOT:PSS或者碳纳米管在Parylene薄膜上制备图案化的导电薄膜，并利用导电银浆将导电薄膜层和导线连接，最终将两组导电层采用正对组装的方式制备出高灵敏度多通道柔性压力传感器。本发明制备的柔性传感器，具有工艺简单、抗干扰能力强以及可大范围变形的优势；采用具有柱状微纳结构的PDMS层，可以实现对传感器灵敏度的增强以及调控；采用光刻的方式将导电层进行图案化，进而可以实现多通道的压力探测，提高了器件的感知密度。

主权项：1.一种高灵敏度多通道柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，具体步骤如下：步骤1：制备硅微纳结构模板：利用光刻胶作为硅片的保护层，采用干法刻蚀的方式在硅片上刻蚀出相应的图案，制备出硅微纳结构模板；其中，为减少PDMS与模具的的粘附性，在硅微纳结构模板的表面生长一层Parylene，并在生长Parylene之前先对硅微纳结构模板进行硅烷化处理，以用来增强Parylene与模具之间的粘附性；步骤2：具有微纳结构的PDMS层的制备：在步骤1制备的硅微纳结构模板上旋涂配置好的PDMS溶液，抽真空后置于热板上进行加热固化，最后使用镊子将固化后的PDMS取下，得到具有微纳结构的PDMS层；步骤3：将步骤2得到的具有微纳结构的PDMS层进行氧等离子处理，然后将碳纳米管水分散液滴涂在具有微结构的PDMS层表面，最后将其置于热板上进行加热固化形成图案化的碳纳米管薄膜；步骤4：首先在硅片上沉积Parylene衬底层，进而在衬底层上旋涂一层抗粘附剂，进而再沉积第二层Parylene，用来图形化上导电层；步骤5：上导电层的图形化：首先在步骤4得到的第二层Parylene上沉积铝，并利用光刻胶光刻出图形，腐蚀出铝图形进而形成刻蚀掩膜层；然后通过反应离子刻蚀的方法刻蚀沉积铝后的Parylene层，进而旋涂上导电层，置于热板上进行热烘处理，最后用镊子将第二层Parylene揭起，最终将Paylene衬底层从硅片表面上揭下，实现上导电层的图形化；步骤6：利用导电银浆将上导电层以及下导电层与导线相连，最后将两组导电层通过正对组装的方式制备出柔性压力传感器。

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