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申请/专利权人：罗伯特·博世有限公司
摘要：本发明公开一种用于探测加速力的构件、尤其是惯性传感器，具有衬底、质量结构和弹簧装置，其中，质量结构可以借助于弹簧装置沿着轴线相对于衬底枢转，其中，弹簧装置具有沿着z方向彼此间隔开的第一弹簧接片和第二弹簧接片。此外，公开一种用于制造弹簧装置的方法。
主权项：1.用于探测加速力的构件1，该构件具有衬底2、质量结构4并且具有弹簧装置16，其中，所述质量结构4能够借助于所述弹簧装置16沿着轴线A相对于所述衬底2枢转，其特征在于，所述弹簧装置16具有沿着垂直于衬底表面3定向的z方向彼此间隔开的第一弹簧接片22和第二弹簧接片24，所述弹簧装置16具有沿z方向定向的至少一个第三弹簧接片26，所述第一弹簧接片22、所述第二弹簧接片24和或所述至少一个第三弹簧接片26层式地实施为层区段14、18、20。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 罗伯特·博世有限公司 具有优化的多层扭转弹簧的构件
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