龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：丽瑞德公司;巴黎萨克雷大学;法国国家科学研究中心
摘要：本发明涉及光电部件11或MEMS装置用的气密壳体10a，其配置为形成其中低压或真空为主的腔室12，所述气密壳体包括：对感兴趣的至少一个波长λ透明的光学窗口14；和吸气剂材料层15a，其配置为捕获存在于该腔室中的气体并沉积在与腔室相对的光学窗口上。该吸气剂材料的厚度et大于60纳米，孔隙率P在10至70％的范围，从而满足以下关系：式I，其中λ对应于所述感兴趣的至少一个波长，k对应于所述光学窗口的所述感兴趣的至少一个波长用的所述吸气剂材料层的材料的消光系数，
主权项：1.一种光电部件11或MEMS装置用的气密壳体10a,10b，其配置为形成其中小于10-3毫巴的压力或真空为主的腔室12，所述气密壳体包括：-所述光电部件11或所述MEMS装置的对感兴趣的至少一个波长λ透明的光学窗口14；和-吸气剂材料层15a,15b，其配置为捕获存在于所述腔室12中的气体并沉积在与所述腔室12相对的所述光学窗口14上；其特征在于，所述吸气剂材料层15a,15b的厚度et大于60纳米并且孔隙率P在10％至70％的范围；所述厚度et和所述孔隙率P构成为满足以下关系： 其中λ对应于所述光学窗口14的所述感兴趣的至少一个波长，k对应于所述光学窗口的所述感兴趣的至少一个波长用的所述吸气剂材料层15a,15b的材料的消光系数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 丽瑞德公司 巴黎萨克雷大学 法国国家科学研究中心 包括吸气剂的气密壳体、并入这样的气密壳体的光电部件或MEMS装置、以及相关的制造方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号