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圆晶定位方法、装置及圆晶加工方法 

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申请/专利权人:深圳市罗博威视科技有限公司

摘要:本申请涉及一种圆晶定位方法、装置及圆晶加工方法,所述圆晶包括多个die,所述圆晶定位方法包括:获取所述圆晶的第一参考图像,根据所述第一参考图像和第一定位模板,获取第一旋转角度;使所述圆晶按照所述第一旋转角度转动;获取按照所述第一旋转角度转动后的圆晶的第二参考图像,根据所述第二参考图像和所述第一定位模板,获取第二旋转角度;使所述圆晶按照所述第二旋转角度转动;获取按照所述第二旋转角度转动后的圆晶的第三参考图像,根据所述第三参考图像和第二定位模板,获取所述圆晶包含的每一个die的位置信息。本申请可以实现对圆晶中每个die的较为准确的定位。

主权项:1.一种圆晶定位方法,其特征在于,所述圆晶包括多个die,所述方法包括:获取所述圆晶的第一参考图像,根据所述第一参考图像和第一定位模板,获取第一旋转角度;使所述圆晶按照所述第一旋转角度转动;获取按照所述第一旋转角度转动后的圆晶的第二参考图像,根据所述第二参考图像和所述第一定位模板,获取第二旋转角度;使所述圆晶按照所述第二旋转角度转动;获取按照所述第二旋转角度转动后的圆晶的第三参考图像,根据所述第三参考图像和第二定位模板,获取所述圆晶包含的每一个die的位置信息;其中,第一定位特征为2*2个die组成的定位块中由相邻2个die之间的沟槽形成的十字型图形,所述第一定位模板为与所述第一定位特征相匹配的图形,所述第一定位模板可与基准轴重合;第二定位特征为所述圆晶上的特定图形,所述第二定位模板为与所述第二定位特征相匹配的特定图形,所述特定图形为所述圆晶中的mark。

全文数据:

权利要求:

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