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申请/专利权人：拓荆科技(上海)有限公司
摘要：本实用新型提供了一种液态化学源的蒸发装置及一种薄膜沉积设备。所述液态化学源的蒸发装置包括蒸发罐、补液管及载气入口。所述蒸发罐用于容纳待蒸发的液态化学源，并具有倾斜底面。所述补液管设于所述蒸发罐的倾斜底面的底部，用于向所述蒸发罐补充液态化学源，或从所述蒸发罐排出多余的液态化学源。所述载气入口设于所述蒸发罐顶部的第一位置，用于向所述蒸发罐内通入载气，以经由所述补液管将所述多余的液态化学源排出所述蒸发罐。通过将补液管设置在蒸发罐的底部，本实用新型可以高效排空蒸发罐及管路中的化学源，并尽可能回收多余的化学源，以提升工艺的效率并节约资源。
主权项：1.一种液态化学源的蒸发装置，其特征在于，包括：蒸发罐，用于容纳待蒸发的液态化学源，并具有倾斜底面；补液管，设于所述蒸发罐的倾斜底面的底部，用于向所述蒸发罐补充液态化学源，或从所述蒸发罐排出多余的液态化学源；以及载气入口，设于所述蒸发罐顶部的第一位置，用于向所述蒸发罐内通入载气，以经由所述补液管将所述多余的液态化学源排出所述蒸发罐。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 拓荆科技(上海)有限公司 液态化学源的蒸发装置及薄膜沉积设备
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