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申请/专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司
摘要：本发明揭示一种用于检测以及分类包括多个半导体结构的晶片的成像数据集66中异常15的计算机实施方法28、28'。该方法包含：确定该成像数据集66中多个异常15的当前检测，以及获得该多个异常15的当前检测的无监督或半监督成群。根据至少一个决策标准，选择该成群中至少一个集群，以经由一使用者界面236给使用者呈现且注记。该异常分类算法根据注记的异常15进行重新训练。本发明另揭示一种用于控制晶片质量的系统234、以及一种用于控制晶片生产的系统234'。
主权项：1.一种计算机实施方法28、28'，用于检测以及分类包括多个半导体结构的晶片的成像数据集66中的异常15，该方法包含：-选择机器学习异常分类算法；-执行至少一个外迭代40，其包含下列步骤：i.确定该成像数据集66中的多个异常15的当前检测；ii.获得该多个异常15的该当前检测的无监督或半监督成群；iii.执行多个内迭代42，其中的至少一些内迭代包含下列步骤：a.使用该异常分类算法确定该成像数据集66中的该多个异常15的当前分类；b.根据至少一个决策标准，通过选择该成群中的至少一个集群，来选择该多个异常15的该当前检测中的至少一个异常15，以经由使用者界面236呈现给使用者，该使用者界面236配置成让该使用者将当前类别集的一个或多个类别标签分配给该至少一个集群中的每一者；c.根据该使用者在当前或任何先前外迭代40的内迭代42中注记的异常15，重新训练该异常分类算法。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 卡尔蔡司SMT有限责任公司 用于晶片的成像数据集中异常的检测与分类的计算机实施方法以及使用此方法的系统
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