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申请/专利权人：佛山家嘉电子科技有限公司
摘要：本发明公开了一种高真空镀膜设备及镀膜工艺，包括以下加工区域：喷油区：用于喷涂屏蔽油；真空蒸镀区：用于加热蒸镀源蒸发至基膜表面；常温冷却区：用于对基膜表面鼓风；瞬时加热区：用于对基膜快速加热；低温冷凝区：用于对基膜降温；高真空处理区：负压装置用于抽取真空，激光发射装置用于对镀层处进行粗化和去杂质；传动装置：用于带动基膜运动，并依次连接上述各个加工区域。本发明通过在蒸镀前先对基膜指定位置喷涂屏蔽油，使蒸镀的金属附着在屏蔽油上，在蒸镀完成后，对基膜进行瞬时加热，基膜上的屏蔽油迅速被蒸发，金属镀层也随之脱落；利用激光发射装置对金属镀层进行粗话和去杂质，增强金属镀层的吸附性能，保证金属镀层均匀、细致。
主权项：1.一种高真空镀膜设备，其特征在于，包括以下加工区域：喷油区：包括喷油装置，用于在基膜的表面的指定位置喷涂屏蔽油；真空蒸镀区：包括内部装有金属蒸镀源的蒸镀装置，用于加热其内的金属蒸镀源并蒸发至基膜表面上；常温冷却区：包括鼓风装置，用于对基膜表面鼓风，使基膜形成较为稳定的金属镀层；瞬时加热区：包括瞬时加热装置，用于对基膜快速加热，使基膜上的屏蔽油迅速蒸发，屏蔽油外部的金属镀层脱落；低温冷凝区：包括冷却装置，用于对基膜降温，使金属镀层逐渐凝结；高真空处理区：包括负压装置和激光发射装置，所述负压装置用于抽取高真空处理区内的空气形成密闭的真空环境，所述激光发射装置用于对基膜表面的镀层处进行粗化和去杂质；传动装置：用于带动基膜运动，并依次连接所述喷油区、真空蒸镀区、常温冷却区、瞬时加热区、低温冷凝区和高真空处理区。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 佛山家嘉电子科技有限公司 一种高真空镀膜设备及镀膜工艺
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