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申请/专利权人:中国计量大学
摘要:本发明提供了一种双臂点光源干涉型自准直仪及其使用方法,属于几何量测试技术领域。它融合了点光源干涉和光学杠杆原理,解决的是如何扩展纯干涉自准仪测量距离的技术问题。本申请包括激光光源、光源会聚透镜、分光镜、参考反射镜、测量会聚透镜、测量反射镜和面阵CCD,其特征在于,所述激光光源发出的光经过光源会聚透镜在分光镜后表面形成点光源,经分光镜后分裂成参考光和测量光,其中参考光经参考反射镜原路返回至面阵CCD,测量光经测量反射镜原路返回后至面阵CCD,两束光在面阵CCD处形成点光源干涉同心圆环。所述测量反射镜发现小角度摆动时,干涉同心圆环的圆心会发生侧移,由此可以反推出测量反射镜的角摆量。
主权项:1.一种双臂点光源干涉型自准直仪,包括激光光源、光源会聚透镜、分光镜、参考反射镜、测量会聚透镜、测量反射镜和面阵CCD,其特征在于,所述激光光源发出的光经过光源会聚透镜在分光镜后表面形成点光源,经分光镜后分裂成参考光和测量光,其中参考光经参考反射镜原路返回至面阵CCD,测量光经测量反射镜原路返回后至面阵面阵CCD,两束光在面阵CCD处形成点光源干涉同心圆环,所述测量反射镜发生小角度摆动时,干涉同心圆环的圆心会发生侧移,由此可以反推出测量反射镜的角摆量。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 中国计量大学 一种双臂点光源干涉型自准直仪
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