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申请/专利权人：清华大学深圳国际研究生院
摘要：本发明公开一种改良栅外位移测量的光栅干涉仪，包括双频光源、第一分光棱镜、二维光栅、第一四分之一波片、第一反射镜、第一偏振分光棱镜、第一偏振片、第二偏振片、第一光电探测器、第二光电探测器；双频光源发出不同频率的两束激光通过第一分光棱镜后，透射的两束激光垂直入射二维光栅并产生衍射，并再次入射第一分光棱镜；反射的两束激光经过第一四分之一波片并垂直入射第一反射镜，反射后原路返回经过第一四分之一波片后并再次入射第一分光棱镜；四束光一并入射至第一偏振分光棱镜，一部分光透射经第一偏振片入射至第一光电探测器，另一部分光反射经第二偏振片入射至第二光电探测器。本发明降低了周期非线性误差，理论分辨率达到原子级精度。
主权项：1.一种改良栅外位移测量的光栅干涉仪，其特征在于，包括双频光源、第一分光棱镜、二维光栅、第一四分之一波片、第一反射镜、第一偏振分光棱镜、第一偏振片、第二偏振片、第一光电探测器、第二光电探测器；其中，所述双频光源用于发出不同频率的两束激光，两束激光通过第一分光棱镜后，透射的两束激光垂直入射二维光栅并产生衍射，衍射产生的0级衍射光返回后再次入射所述第一分光棱镜；反射的两束激光经过所述第一四分之一波片并垂直入射第一反射镜，经所述第一反射镜反射后原路返回经过所述第一四分之一波片后并再次入射所述第一分光棱镜；入射所述第一分光棱镜的0级衍射光经反射后与原路返回经过所述第一四分之一波片后并再次入射所述第一分光棱镜的两束激光透射后，一并入射至第一偏振分光棱镜，一部分光透射经过所述第一偏振片入射至所述第一光电探测器，另一部分光反射经过所述第二偏振片入射至所述第二光电探测器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 清华大学深圳国际研究生院 一种改良栅外位移测量的光栅干涉仪及位移测量方法
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