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申请/专利权人：江苏海泰光电材料科技股份有限公司
摘要：本发明公开了一种氧化铌旋转靶材的混料装置及其制备方法，涉及靶材生产技术领域，混料装置包括进料机构，所述进料机构的下方焊接有箱体，所述进料机构和箱体连接位置上方内部设有筛料机构，所述进料机构的侧壁开有第一箱门，所述箱体的内部设有混料机构，所述混料机构的下方设有收料斗，所述箱体的顶部设有电机，所述箱体的下方设有多个支腿，所述箱体侧壁下部开有第二箱门，将一定比例的粉末混合后放入混料装置内进行混合，混合好后进行喷涂，本装置结构简单，节约成本，其混合更加均匀，使用维护简单，提高产品质量。
主权项：1.一种氧化铌旋转靶材的制备方法，其特征在于：包括以下几个步骤：步骤S1，制备等离子喷涂原料：将纯度不低于99.95wt％，粒径为1-5μm左右的氧化铌粉，经混料装置制备成45-90微米的粉末，在混料装置中混合4-12小时，确保粉末混合均匀；步骤S2，喷涂工件基体加工处理：工价基体清洗加工，去除工件上油渍、杂物、氧化层，对喷涂面进行吹砂，进行表面粗化；步骤S3，喷涂工件打底层：即在吹砂粗化后的表面喷涂0.05-2mm厚的合金涂层，改合金涂层的喷涂采用的是等离子喷涂镍铬、镍铬铝、镍铬铝钇或镍包铝粉末；或者采用电弧法去喷涂镍铝或者铝青铜合金丝；步骤S4，采用等离子喷涂工艺，在工件上喷涂上述S1中所制备的粉末，形成有效涂层：喷涂前将背管中冷却水加热至30-80℃，保温20分钟，使整个背管温度均匀，等离子喷涂参数：基体转速为300-600rmin，喷枪行走速度30-200mmmin，喷枪距离基体的距离为50-250mm；喷涂过程中调节水温保持在设定温度，表面通压缩气进行冷却，此过程是为了喷涂完成后控制冷却水温度缓慢降温，降温时间控制在2-3小时以上，降至室温后关停设备；步骤S5，喷涂完成后进行工件机加工处理：进行表面抛光处理，进行端头处理，处理完成后可以使用。
全文数据：
权利要求：
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