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申请/专利权人：先导薄膜材料(安徽)有限公司
摘要：本发明公开了一种超高纯铝靶及其制备方法，属于材料加工技术领域；采用本发明提供的一种超高纯铝靶的制备方法中，通过先对超高纯铝铸锭进行常温冷锻造、交叉轧制、热处理，从而能够得到晶粒尺寸小且分布均匀的超高纯铝靶坯，接着将该超高纯铝靶坯与铜背板重叠后进行爆炸焊接，焊接结束后进行交叉轧制，随后进行后处理，得到的超高纯铝靶具有晶粒尺寸小、晶粒均匀性好且焊接强度高的特点。并且，本发明提供的制备方法操作简单，步骤简便，有利于实际生产。
主权项：1.一种超高纯铝靶的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：1对超高纯铝铸锭依次进行锻造、交叉轧制、热处理，得超高纯铝靶坯；其中，热处理的温度为100-200℃；2将超高纯铝靶坯与铜背板重叠后进行爆炸焊接；3将爆炸焊接后的工件进行交叉轧制；4将交叉轧制后的工件进行水切割、矫平，得超高纯铝靶。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(安徽)有限公司 一种超高纯铝靶及其制备方法
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