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申请/专利权人：温岭艾斯达特新材料科技有限公司
摘要：本发明公开了一种紧固件表面抗高温咬合纳米复合薄膜材料及其制备方法和应用，通过在螺母、螺栓等金属紧固件表面依次沉积Cr金属底层、CrN过渡层、CrTiSiAlYN和Al2O3功能层制得薄膜。本发明制备的薄膜具有良好的膜基结合力，能够解决高温服役装备在拆卸过程中因螺母与螺栓、垫片出现粘结而造成的使用寿命和整体装备效能降低的问题。
主权项：1.一种紧固件表面抗高温咬合纳米复合薄膜材料的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：1）对紧固件表面进行喷砂处理；2）在惰性气体氛围中，对经过喷砂处理的紧固件进行清洗，然后利用金属靶材在紧固件表面进行金属底层Cr的沉积；3）在氮气氛围下，利用金属靶材和合金靶材在所述底层上进行过渡层CrN、功能层CrTiSiAlYN的沉积；4）在氧气及氩气混合氛围下，利用纯Al靶材在所述功能层CrTiSiAlYN上进行顶层功能层Al2O3的沉积，以得到抗咬合复合薄膜。
全文数据：
权利要求：
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