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申请/专利权人：东京应化工业株式会社

摘要：提供一种化学放大型正型感光性组合物，其在表面具备金属层的基板上形成作为制作镀覆造形物的工艺的铸模的图案，该化学放大型正型感光性组合物即使在低温下也容易形成具有形成了较大底切的截面形状且对基板的密合性优异的抗蚀剂图案。使用如下化学放大型正型感光性组合物，其包含：产酸剂A，通过活性光线或者放射线的照射而产生酸；树脂B，对碱的溶解性因酸的作用而增大；含硫化合物E，包含能够与基板的金属层配位的硫原子；酸扩散抑制剂F；有机溶剂S，含硫化合物E包含具有巯基的含氮杂环化合物或其互变异构体，该化学放大型正型感光性组合物通过特定的工序1～4求出的产酸剂A的分解率％超过10。

主权项：1.一种化学放大型正型感光性组合物，其在表面具备金属层的基板上形成作为制作镀覆造形物的工艺的铸模的图案，其特征在于，包含：产酸剂A，通过活性光线或者放射线的照射而产生酸；树脂B，对碱的溶解性因酸的作用而增大；含硫化合物E，包含能够与所述金属层配位的硫原子；酸扩散抑制剂F；有机溶剂S，所述含硫化合物E包含具有巯基的含氮杂环化合物、或者所述具有巯基的含氮杂环化合物的互变异构体，所述化学放大型正型感光性组合物满足以下的[条件1]，[条件1]通过以下的工序1～4求出的产酸剂A的分解率％超过10：1将所述化学放大型正型感光性组合物涂布于在表面具有通过溅射法形成的铜层的基板，由此形成厚度8.5μm的树脂膜；2将形成有所述树脂膜的所述基板以140℃加热300秒钟；3削取所述加热后的所述树脂膜的一部分，将削取的树脂膜以固体成分浓度成为20质量％的方式溶解于丙二醇单甲醚乙酸酯后，加入削取的树脂膜的质量的15倍质量的乙腈，将去除沉淀物后的液体作为试验液；4利用丙二醇单甲醚乙酸酯将所述化学放大型正型感光性组合物以固体成分浓度成为20质量％的方式进行稀释后，加入所述化学放大型正型感光性组合物的固体成分的质量的15倍质量的乙腈，利用液相色谱法分别对去除沉淀物后的液体与所述试验液进行分析，由此求出以下述式a表示的产酸剂A的分解率％，产酸剂A的分解率％＝1-xy×100···a，式a中，x为树脂膜中的产酸剂A的含量质量％，y为化学放大型正型感光性组合物的固体成分中的产酸剂A的含量质量％。

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百度查询： 东京应化工业株式会社 化学放大型正型感光性组合物、带铸模基板的制造方法及镀覆造形物的制造方法