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申请/专利权人：星钥(珠海)半导体有限公司
摘要：本实用新型公开了一种用于晶圆键合的卡盘支撑装置，包括用于承载晶圆的卡盘；用于支撑卡盘的支撑基座；悬浮组件，用于在卡盘和支撑基座之间产生支撑卡盘悬浮于支撑基座的上方的悬浮作用力；磁性组件，用于在卡盘和支撑基座之间产生磁场作用力，以驱动卡盘在支撑基座上方沿设定方向移动，并限制卡盘在水平方向上沿垂直于设定方向移动。本申请的卡盘支撑装置通过悬浮组件将卡盘悬浮于支撑基座的正上方的基础上，利用磁性组件所产生的磁场力驱动悬浮的卡盘沿设定方向移动，并限定卡盘垂直于设定方向移动，从而在一定程度上保证卡盘移动过程中的稳定性，进而保证晶圆的安全性。
主权项：1.一种用于晶圆键合的卡盘支撑装置，其特征在于，包括：用于承载晶圆的卡盘；用于支撑所述卡盘的支撑基座；设置在所述卡盘和所述支撑基座上的悬浮组件，用于在所述卡盘和所述支撑基座之间产生支撑所述卡盘悬浮于所述支撑基座的上方的悬浮作用力；设置在所述卡盘和所述支撑基座上的磁性组件，用于在所述卡盘和所述支撑基座之间产生磁场作用力，以驱动所述卡盘在所述支撑基座上方沿设定方向移动，并限制所述卡盘相对于所述支撑基座在水平方向上沿垂直于所述设定方向移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 星钥(珠海)半导体有限公司 一种用于晶圆键合的卡盘支撑装置
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