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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：本揭示内容的实施方式通常提供了用于从光掩模去除用于固持皮层的附接特征的设备和方法。在一个实施方式中，一种用于处理光掩模的附接特征去除设备包括附接特征拉拔器和线圈组件，附接特征拉拔器包括致动器和与致动器耦接的夹具，夹具适于夹持附接特征，线圈组件与附接特征相邻设置。
主权项：1.一种用于处理光掩模的附接特征去除设备，包括：附接特征拉拔器，所述附接特征拉拔器进一步包括：皮层螺柱夹持器，所述皮层螺柱夹持器具有围绕开口的一对侧壁，所述皮层螺柱夹持器包括：夹具，所述夹具设置在所述开口中，所述夹具适于夹持附接特征；及线圈组件，所述线圈组件围绕所述侧壁设置，其中所述线圈组件被配置为通过所述附接特征的皮层螺柱中的感应电流在所述皮层螺柱内部产生热量，以软化在所述光掩模与所述皮层螺柱之间的所述附接特征的粘合层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 在极紫外线光刻应用中从光掩模去除附接特征
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