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申请/专利权人：浙江汇隆晶片技术有限公司

摘要：本发明中公开了一种石英晶片检测装置，涉及石英晶片检测技术领域；具体包括机座，所述机座的上方设置有圆形结构的检测工位，且机座的顶部安装有用于带动检测工位旋转运动的工位旋转电机，所述检测工位的顶部设置有多个等距离分布的检测台，且检测台的内部安装有用于观察石英晶片外观缺陷的环形补光灯。本发明中主观测摄像机、副观测摄像机和外观缺陷摄像机收集石英晶片上下表面多角度、多位置的石英晶片外观影像，提高检测准确性，根据石英晶片在光线照射角度变化时，其表面显示光斑与预设图像比对，快速判断石英晶片外观是否存在缺陷，检测过程快，且无需对石英晶片进行夹持和倾斜，避免检测过程中对石英晶片造成损伤。

主权项：1.一种石英晶片检测装置，包括机座1，所述机座1的上方设置有圆形结构的检测工位2，且机座1的顶部安装有用于带动检测工位2旋转运动的工位旋转电机3，所述检测工位2的顶部设置有多个等距离分布的检测台4，且检测台4的内部安装有用于观察石英晶片外观缺陷的环形补光灯15，其特征在于，所述机座1的顶部还安装有升降机构10和气源机构13，所述升降机构10的侧面安装有连接支架9，且连接支架9的底部安装有步进马达8，所述步进马达8的输出轴底端安装有遮光罩6，且遮光罩6的底部安装有环状结构的晶片定位机构5，所述晶片定位机构5依靠气源机构13中的压缩空气运行，所述晶片定位机构5的内部安装有半球状结构的检测罩12，且检测罩12的内部顶端安装有主观测摄像机7，所述环形补光灯15的中央安装有副观测摄像机，所述检测罩12的底部安装有与检测台4外侧转动连接的支撑环14，所述检测罩12的外侧设置有石英晶片外观缺陷检测机构11，且石英晶片外观缺陷检测机构11设置有在检测罩12内部同步运动的外观缺陷检测射灯117和外观缺陷摄像机116；所述石英晶片外观缺陷检测机构11包括安装于石英晶片上方的一对安装架111，且两个安装架111的内侧均转动安装有两个相互啮合连接的驱动杆113，两个同一侧位置的所述驱动杆113之间滑动安装有推动连杆115，外观缺陷检测射灯117和外观缺陷摄像机116的外端分别与两个推动连杆115转动连接，所述安装架111的外侧安装有与其中一个驱动杆113传动连接的调节马达114，且安装架111的外侧还安装有与另一个驱动杆113同步运动的角度传感器112，所述检测罩12的顶部两侧均设置有弧形结构的限位滑槽122，且外观缺陷检测射灯117、外观缺陷摄像机116的中部均设置有嵌装部，嵌装部与限位滑槽122内壁相适配。

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