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申请/专利权人：深圳市克洛诺斯科技有限公司

摘要：本发明公开大幅面高效纳米级双台面交叉运动平台。大幅面高效纳米级双台面交叉运动平台大幅面高效纳米级双台面交叉运动平台包括基座、安装于基座上的双Y轴机构、在双Y轴机构上来回做直线运动的双Z轴机构。本发明采用双Z轴机构，第一Z轴齿条和第二Z轴齿条与基座垂直安装，行程可达到200mm以上，第一Y向直线电机轴和第二Y向直线电机轴同时运行时，第一负载示意和第二负载示意可上下和错开运行，避免第一负载示意与第二负载示意发生碰撞，从而有效减小第一Y向直线电机轴与第二Y向直线电机轴之间的间距，进一步的减小了平台的整体宽度，大大的节省了空间。

主权项：1.大幅面高效纳米级双台面交叉运动平台，其特征在于：包括基座、安装于基座上的双Y轴机构、在双Y轴机构上来回做直线运动的双Z轴机构；所述双Y轴机构包括两条平行安装于所述基座上的第一Y向直线电机轴和第二Y向直线电机轴，所述Z轴机构包括分别运动于第一Y向直线电机轴上和第二Y向直线电机轴上且相对设置的第一Z轴装置和第二Z轴装置，所述第一Z轴装置包括垂直安装于第一Y向直线电机轴上的第一Z轴底板、安装于第一Z轴底板内侧的两条平行设置且与基座垂直的第一Z轴导轨、可在第一Z轴导轨上运动的第一Z轴滑块、固定安装于两条第一Z轴导轨之间且与基座垂直设置的第一Z轴齿条、固定安装于第一Z轴滑块上的第一负载固定板、所述第一负载固定板中心处开有第一圆形孔、穿过所述第一圆形孔的第一Z轴齿轮、驱动第一Z轴齿轮转动的第一Z轴伺服电机和固定安装于所述第一负载固定板上的两条平行设置的第一负载支撑板，所述第一Z轴伺服电机驱动第一Z轴齿轮转动，所述第一Z轴齿轮在所述第一Z轴齿条上啮合运动从而带动放置于所述第一负载支撑板上的第一负载示意沿Z轴方向运动；所述第二Z轴装置包括垂直安装于第二Y向直线电机轴上的第二Z轴底板、安装于第二Z轴底板内侧的两条平行设置且与基座垂直的第二Z轴导轨、可在第二Z轴导轨上运动的第二Z轴滑块、固定安装于两条第二Z轴导轨之间且与基座垂直设置的第二Z轴齿条、固定安装于第二Z轴滑块上的第二负载固定板、所述第二负载固定板中心处开有第二圆形孔、穿过所述第二圆形孔的第二Z轴齿轮、驱动第二Z轴齿轮转动的第二Z轴伺服电机和固定安装于所述第二负载固定板上的两条平行设置的第二负载支撑板，所述第二Z轴伺服电机驱动第二Z轴齿轮转动，所述第二Z轴齿轮在所述第二Z轴齿条上啮合运动从而带动放置于所述第二负载支撑板上的第二负载示意沿Z轴方向运动。

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