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一种利用行波磁场强制驱动粘附气泡的方法 

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申请/专利权人:西安交通大学

摘要:本发明提供了一种利用行波磁场强制驱动粘附气泡的方法,属于晶体生长技术领域,旨在为利用行波磁场去除晶体生长过程中的气泡提供指导,所述方法包括:根据行波磁场发生线圈、熔体以及晶体生长炉的炉壁的结构参数,构建气泡运动模型;在气泡运动模型的炉壁的垂直壁面和倾斜壁面设置气体入口,并通过气泡运动模型模拟行波磁场产生的洛伦兹力驱动所述气泡运动的过程;向气体入口通入气体形成不同的气泡,并不断调节行波磁场发生线圈中通入的电流的电流强度,直至气泡发生定向滑移运动;根据多个气泡对应的临界电流强度,获取行波磁场产生的洛伦兹力对每个接触角的气泡的运动的控制规律;根据控制规律,利用行波磁场产生的洛伦兹力强制驱动熔体中的气泡运动。

主权项:1.一种利用行波磁场强制驱动粘附气泡的方法,其特征在于,应用于晶体生长,所述方法包括:根据行波磁场发生线圈、熔体以及晶体生长炉的炉壁的结构参数,构建气泡运动模型;在所述气泡运动模型的炉壁的垂直壁面和倾斜壁面设置气体入口,以模拟气泡的形成,并通过所述气泡运动模型模拟行波磁场产生的洛伦兹力驱动所述气泡运动的过程;其中,所述洛伦兹力基于预设转换关系和产生所述行波磁场的电流的电流强度得到,所述预设转换关系为所述电流强度与所述洛伦兹力之间的转换关系;向所述气体入口通入气体形成不同接触角、不同壁面的气泡,待所述气泡达到预设等效直径时,关闭所述气体入口,并不断调节行波磁场发生线圈中通入的电流的电流强度,直至所述气泡发生定向滑移运动,以获得强制驱动所述气泡的临界电流强度;根据多个所述气泡对应的临界电流强度,获取所述行波磁场产生的洛伦兹力对每个接触角的气泡的运动的控制规律;根据所述控制规律,利用所述行波磁场产生的洛伦兹力强制驱动所述熔体中的气泡运动,以生长出高质量的晶体。

全文数据:

权利要求:

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