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一种自动化上料的基片清洗烘干装置 

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申请/专利权人:唐山万士和电子有限公司

摘要:本发明涉及基片清洗技术领域,提出了一种自动化上料的基片清洗烘干装置,用清洗液对基片进行清洗,包括:机箱,具有容纳槽;清洗池,滑动设置于容纳槽内,清洗池具有清洗槽;提升件,设置于机箱上;基片放置架,设置于提升件上,提升件用于带动基片放置架进入或离开清洗池,基片放置架具有插槽,基片可拆卸设置于插槽内;通风盖板,滑动设置于机箱上,通风盖板用于遮挡容纳槽,通风盖板具有出风通道,出风通道用于向容纳槽内输送热风。通过上述技术方案,解决了相关技术中在基片清洗完毕后,需要用转运装置转移到烘干箱内,在转运的过程中,基片表面容易受到空气中灰尘的污染的问题。

主权项:1.一种自动化上料的基片清洗烘干装置,用清洗液对基片17进行清洗,其特征在于,包括:机箱1,具有容纳槽2;清洗池3,滑动设置于所述容纳槽2内,所述清洗池3具有清洗槽301;提升件4,设置于所述机箱1上;基片放置架16,设置于所述提升件4上,所述提升件4用于带动所述基片放置架16进入或离开所述清洗池3,所述基片放置架16具有插槽1603,所述基片17可拆卸设置于所述插槽1603内;通风盖板5,滑动设置于所述机箱1上,所述通风盖板5用于遮挡所述容纳槽2,所述通风盖板5具有出风通道6,所述出风通道6用于向所述容纳槽2内输送热风。

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权利要求:

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