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申请/专利权人：株式会社村田制作所
摘要：提供不易在检查对象物上产生结露的检查装置。检查装置具备：腔室；保持器，其位于腔室内，并且保持检查对象物；测定器，其位于腔室内，并且对保持器所保持的检查对象物的电气特性进行测定；以及干燥空气导入部，其将干燥空气导入腔室内。将铅垂下方定义为下方，在腔室设置有将腔室内与检查装置外连通且能够供检查对象物出入的开口，干燥空气从上述干燥空气导入部流入上述腔室内，干燥空气导入部位于比上述开口靠下的位置，保持器位于比上述开口靠下的位置。
主权项：1.一种检查装置，具备：腔室；保持器，其位于所述腔室内，并且保持检查对象物；测定器，其位于所述腔室内，并且对所述保持器所保持的所述检查对象物的电气特性进行测定；以及干燥空气导入部，其将干燥空气导入所述腔室内，所述检查装置的特征在于，将铅垂下方定义为下方，在所述腔室设置有将所述腔室内与所述检查装置外连通且能够供所述检查对象物出入的开口，所述干燥空气从所述干燥空气导入部流入所述腔室内，所述干燥空气导入部位于比所述开口靠下的位置，所述保持器位于比所述开口靠下的位置。
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