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申请/专利权人:季华实验室
摘要:本发明公开了一种电动载物台,涉及运动平台技术领域,其中,所述电动载物台包括底座、移动座、电磁直线驱动机构、电磁旋转驱动机构旋转台及第一压电驱动机构;底座设有第一避让口,移动座滑动连接于底座,移动座设有第二避让口;电磁直线驱动机构设于底座,并与移动座传动连接;电磁旋转驱动机构设于移动座背向底座的一侧;电磁旋转驱动机构设有第一中心通光孔;旋转台设于电磁旋转驱动机构,以使电磁旋转驱动机构带动旋转台转动;第一压电驱动机构设于电磁旋转驱动机构,并与旋转台相邻设置,用于对旋转台定位;本发明提供的技术方案可满足高运动平稳性、纳米级运动精度的同时,还能实现具有中心通光孔的高速旋转运动。
主权项:1.一种电动载物台,其特征在于,所述电动载物台包括:底座,所述底座设有第一避让口;移动座,所述移动座滑动连接于所述底座,所述移动座设有第二避让口;电磁直线驱动机构,所述电磁直线驱动机构设于所述底座,并与所述移动座传动连接;电磁旋转驱动机构,所述电磁旋转驱动机构设于所述移动座背向所述底座的一侧;所述电磁旋转驱动机构设有第一中心通光孔;旋转台,所述旋转台设于所述电磁旋转驱动机构,以使所述电磁旋转驱动机构带动所述旋转台转动;所述旋转台设有第二中心通光孔,所述第二中心通光孔、所述第一中心通光孔、所述第一避让口及第二避让口同轴设置;及第一压电驱动机构,所述第一压电驱动机构设于所述电磁旋转驱动机构,并与所述旋转台相邻设置,用于对所述旋转台定位。
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