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申请/专利权人：华为技术有限公司
摘要：本申请实施例提供了一种垂直度误差测量方法和装置，用于测量待测器件第一面和第二面的垂直度误差，该装置包括透射光栅、透镜和探测器，其中，透射光栅用于获取入射光束，入射光束与所述透射光栅垂直；透射光栅还用于根据入射光束、第一面和第二面产生第一衍射光束和第二衍射光束，第一衍射光束和第二衍射光束为入射光束经过透射光栅的衍射和第一面、第二面的反射得到的；透镜用于聚焦第一衍射光束和第二衍射光束；探测器用于根据聚焦后的第一衍射光束和第二衍射光束形成第一光斑和第二光斑，第一光斑和第二光斑之间的距离用于确定所述垂直度误差。本申请技术方案可以提高垂直度误差测量的效率。
主权项：1.一种垂直度误差测量装置，其特征在于，用于测量待测器件第一面和第二面的垂直度误差，所述装置包括透射光栅、透镜和探测器，其中，所述透射光栅用于获取入射光束，所述入射光束与所述透射光栅垂直；所述透射光栅还用于根据所述入射光束、所述第一面和所述第二面产生第一衍射光束和第二衍射光束，所述第一衍射光束和所述第二衍射光束为所述入射光束经过所述透射光栅的衍射和所述第一面、所述第二面的反射得到的；所述透镜用于聚焦所述第一衍射光束和所述第二衍射光束；所述探测器用于根据聚焦后的所述第一衍射光束和所述第二衍射光束形成第一光斑和第二光斑，所述第一光斑和所述第二光斑之间的距离用于确定所述垂直度误差。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华为技术有限公司 垂直度误差测量方法和装置
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