龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：光科芯图(北京)科技有限公司
摘要：本发明涉及集成电路制作技术领域，特别涉及一种等离子箍缩系统电离电路、装置及反向脉冲消除方法。电离电路包括主脉冲电路、耦合单元、电压输出端和镇流电阻；耦合单元包括磁芯耦合的第一线圈和第二线圈，主脉冲电路、第一线圈和镇流电阻依次串联连接并形成闭合回路，第二线圈的两端分别为电压输出端；主脉冲电路用于产生漏电流以及高压脉冲，漏电流用于电离气体产生等离子体，主脉冲电路对耦合单元提供高压脉冲，等离子体于高压脉冲下形成等离子体回路并产生反向脉冲，镇流电阻用于吸收反向脉冲以提高电离电路的稳定性。解决了等离子体回路产生的反脉冲造成电离电路稳定性差的问题。
主权项：1.一种等离子箍缩系统电离电路，用于对等离子箍缩系统内的气体进行电离，其特征在于：所述电离电路包括主脉冲电路、耦合单元、电压输出端和镇流电阻；所述耦合单元包括磁芯耦合的第一线圈和第二线圈，所述主脉冲电路、第一线圈和镇流电阻依次串联连接并形成闭合回路，所述第二线圈的两端分别为电压输出端；所述主脉冲电路用于产生漏电流以及高压脉冲，所述漏电流用于电离气体产生等离子体，所述主脉冲电路对所述耦合单元提供高压脉冲，所述等离子体于所述高压脉冲下形成等离子体回路并产生反向脉冲，所述镇流电阻用于吸收所述反向脉冲以提高所述电离电路的稳定性。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 光科芯图(北京)科技有限公司 一种等离子箍缩系统电离电路、装置及反向脉冲消除方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号